薄膜结构X射线表征-(第二版)

本书特色

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《薄膜结构x射线表征》结合作者二十多年来的工作积累和国内外*新进展，系统介绍应用x射线衍射和散射技术表征薄膜微结构的多种基本实验装置、实验数据分析理论以及典型的薄膜微结构表征实例。《薄膜结构x射线表征》分3篇(共19章)：第1篇为基本实验装置(第1～3章)，主要介绍x射线源、x射线准直和单色化、各种探测器以及薄膜x射线衍射仪和表面/界面散射装置。第2篇为基本理论(第4～10章)，介绍薄膜x射线衍射和散射实验数据分析所用的相关理论，包括用于薄晶体或小晶体多层膜和金属多层膜的x射线衍射运动学理论；用于近完美多层膜、半导体超晶格和多量子阱的x射线衍射动力学理论；用于原子密度和晶格参数很接近的金属多层膜的x射线异常衍射精细结构理论；用于薄膜和多层膜表面与界面分析的x射线反射、漫散射理论以及掠入射衍射理论。基本覆盖了目前应用x射线衍射和散射技术研究薄膜结构所需要的理论。第3篇为薄膜微结构表征(第11～19章)，介绍应用x射线衍射和散射技术表征薄膜微结构的实例，除了总结作者二十多年来在薄膜研究中所解决的微结构表征实例外，还尽量收集近年来国内外有关的重要结果，以供读者参考。薄膜的种类涉及半导体外延膜及超晶格材料、超导异质薄膜材料、金属磁性多层膜材料、软物质薄膜和有机半导体薄膜。表征的微结构包括单层膜和多层膜厚度、点阵参数、应力、表面与界面、缺陷、弛豫横向、调制结构以及钙钛矿结构氧八面体畸变。

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内容简介

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《薄膜结构x射线表征》力图理论联系实验、深入浅出，而又不失先进性、实用性和普适性。可供从事薄膜材料和器件研究的研究人员和工程技术人员参考，对从事薄膜材料和器件研制与开发的专业人员也有参考价值，也可作为高等院校和研究院所凝聚态物理、材料科学和有关薄膜科学技术专业及相关专业的教师和研究生的教学用书和参考书。

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目录

第二版前言**版序**版前言第1篇基本实验装置第1章x射线源与x射线探测麦振洪贾全杰1.1x射线源1.1.1x射线产生和x射线谱1.1.2封闭式x射线管1.1.3同步辐射光源1.2x射线准直和单色化1.2.1狭缝1.2.2双晶单色器1.2.3多晶单色器1.3x射线探测器1.3.1计数器1.3.2位置灵敏探测器1.3.3面探测器参考文献第2章薄膜x射线衍射仪李建华2.1高分辨共面x射线衍射仪2.2掠入射衍射装置2.3测量分辨率的分析参考文献第3章表面/界面x射线散射罗光明麦振洪3.1固体表面/界面x射线反射和漫散射装置3.2液体表面/界面x射线反射和散射装置参考文献第2篇基 本 理 论第4章x射线衍射运动学理论麦振洪4.1引言4.2x射线衍射几何4.2.1劳厄方程4.2.2布拉格方程4.3倒易点阵4.3.1倒易点阵定义4.3.2色散面——ewald球4.4x射线衍射强度4.4.1单电子散射4.4.2原子散射因子4.4.3结构因子4.5薄晶体衍射强度参考文献第5章金属多层膜的x射线衍射运动学理论罗光明麦振洪5.1成分混合/合金化的多层膜5.2[a/b]n多层膜参考文献第6章x射线衍射动力学理论(一)——完美晶体麦振洪罗光明6.1引言6.2完美晶体中x射线波动方程6.3双光束近似6.4色散面6.5劳厄几何晶体内波场振幅6.6布拉格几何晶体内波场振幅6.6.1无吸收晶体的反射率6.6.2有吸收晶体的反射率6.7双轴晶衍射摇摆曲线的理论计算参考文献第7章x射线衍射动力学理论(二)——畸变晶体麦振洪7.1引言7.2晶体中的调制波7.3高木方程7.4高木方程的都平形式7.5多层膜结构的x射线双轴晶摇摆曲线计算7.5.1概述7.5.2外延材料反射率的x射线衍射动力学理论解7.5.3迭代公式中参数的计算7.6应变弛豫超晶格的x射线双轴晶摇摆曲线计算7.6.1弛豫机制与应变分布7.6.2取向差与峰形展宽参考文献第8章x射线异常衍射精细结构理论罗光明8.1没有周期调制的多层膜8.2[a/b]n多层膜8.3实验方法8.4dafs谱线的分析方法参考文献第9章x射线掠入射衍射理论贾全杰姜晓明9.1概述9.2x射线掠入射衍射准运动学理论9.2.1dwba9.2.2dwba下薄膜材料的掠入射衍射理论9.3掠入射衍射的应用参考文献第10章x射线界面反射和漫散射理论李明罗光明10.1x射线镜面反射10.2粗糙表面的散射(一)——玻恩近似10.3粗糙表面的散射(二)——dwba理论10.4多层膜的dwba散射理论10.5界面起伏的关联函数10.5.1表面关联函数10.5.2自仿射关联10.5.3多层膜界面之间的关联参考文献第3篇薄膜微结构表征第11章单层膜和多层膜厚度李建华11.1单层膜和多层膜共面x射线衍射11.2埋层的探测11.2.1高分辨x射线衍射11.2.2x射线镜面反射参考文献第12章外延膜的晶格参数？应力与组分麦振洪12.1共面x射线双轴晶衍射12.2薄膜残余应力检测的x射线mapping技术12.3掠入射衍射参考文献第13章薄膜表面与界面李明麦振洪罗光明13.1x射线镜面反射13.1.1氧化物薄膜界面13.1.2磁性金属多层膜界面13.1.3batio3/pt 界面的“dead layer”13.2x射线漫散射13.2.1znte/znsxte1-x超晶格中的生长台阶13.2.2长周期bete/znse超晶格界面台阶上的无规起伏13.2.3短周期bete/znse超晶格界面的化学键13.3x射线异常衍射精细结构13.3.1埋层量子线13.3.2在金属多层膜中的应用参考文献第14章横向调制结构李建华贾全杰14.1表面栅格结构14.2横向成分调制结构14.3量子线结构14.4量子点结构14.5原子有序结构参考文献第15章外延膜中的缺陷李建华李明麦振洪15.1倒易空间x射线散射强度分布15.2应变弛豫15.2.1晶格失配应变15.2.2成分梯度应变15.3失配位错15.3.1位错的x射线漫散射15.3.2低密度位错15.3.3高密度位错15.4x射线反射形貌术15.4.1bergbarrett反射形貌术15.4.2双轴晶形貌术参考文献第16章软物质薄膜与界面李明罗光明16.1液体薄膜与界面16.1.1实验方法16.1.2液体薄膜16.2固/液界面的磷脂多层膜16.2.1磷脂多层膜结构的x射线散射研究16.2.2磷脂多层膜的溶胀16.3表面活性剂多层膜16.3.1水对硬脂酸膜界面起伏的影响16.3.2lb膜的界面粗糙化与生长动力学16.4小分子及离子相关液体界面16.5三价态离子在水/空气界面的结构参考文献第17章薄膜晶体结构的表征和测定刘华俊杨平17.1布拉维晶胞和点阵参数的测定17.1.1rsv法17.1.2六维矢量法(g6空间法)17.1.3实验条件和分辨率17.1.4外延薄膜结构实例17.1.5讨论17.2晶粒，孪晶，调制结构和点阵参数17.2.1晶粒和相界17.2.2单斜孪晶在rsm图上的行为17.2.3四方相a畴和c畴的行为17.2.4调制结构17.2.5四方相a畴，c畴的模拟和三方相纳米孪晶的讨论17.3氧八面体转动的测定17.3.1钙钛矿结构17.3.2氧八面体转动的glazer分类17.3.3半指数晶面衍射法17.3.4结构分析实例17.4cobra界面结构分析方法17.4.1表面衍射与晶体截断杆17.4.2cobra原理与方法17.4.3结构分析实例17.5外延薄膜的单晶结构分析17.5.1单晶结构分析方法17.5.2薄膜分析的困难17.5.3实验方法与数据处理17.5.4结构分析实例17.6结语参考文献第18章钙钛矿结构氧八面体畸变的x射线表征吴小山18.1钙钛矿氧化物的特殊电子结构18.2过渡金属钙钛矿氧化物中八面体畸变的x射线表征方法18.3扩展x射线吸收精细结构方法18.4掠入射反射在界面氧八面体结构畸变中的应用18.4.1掠入射反射确定膜厚18.4.2x射线漫散射技术18.4.3晶体截断杆技术18.5高分辨衍射技术18.5.1高分辨衍射18.5.2倒易空间x射线散射强度分布图参考文献第19章有机半导体薄膜晶体结构的表征张吉东19.1有机半导体简介19.2有机半导体薄膜的受限结晶19.2.1有机半导体材料的结晶结构19.2.2有机半导体材料在薄膜中的受限结晶19.3有机半导体薄膜结晶结构的x射线衍射表征技术19.3.1常规x射线衍射技术19.3.2x射线掠入射衍射技术19.4有机半导体薄膜结晶结构的x射线衍射表征19.4.1有机半导体薄膜的三维结晶结构19.4.2归属有机半导体薄膜的晶型19.4.3有机半导体薄膜的精细结构差别19.4.4有机半导体薄膜的结晶度19.4.5有机半导体薄膜的取向表征19.4.6有机半导体薄膜结晶结构演变的实时表征参考文献索引

封面

书名:薄膜结构X射线表征-(第二版)

作者:麦振洪

页数:404

定价:¥148.0

出版社:科学出版社

出版日期:2015-05-01

ISBN:9787030441959

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