MEMS传感器接口ASIC集成技术

本书特色

[

　　《微米纳米技术丛书·mems与微系统系列：mems传感器接口asic集成技术》首先介绍了以微纳米惯性器件芯片级集成为代表的me：ms集成传感器的起源、技术特点、国内外的发展状况；然后叙述了mems集成压力传感器，mems加速度计接口asic芯片及其集成化技术，mems陀螺接口asic芯片及其芯片级集成技术，mems磁传感器、微传声器（麦克风）、热红外传感器等的接口asic芯片设计及其芯片级集成技术。《微米纳米技术丛书·mems与微系统系列：mems传感器接口asic集成技术》非常适合高等院校相关专业的师生和从事mems集成传感器研究的工程技术人员阅读，同时对从事mems传感器应用开发与生产的工程技术人员和管理决策者都有重要参考价值。

]

目录

第1章 引言1.1 mems集成传感器1.2 mems传感器接口电路集成技术特点及发展现状1.2.1 主要技术特点1.2.2 国内外发展趋势参考文献第2章 微加速度计接口asic集成技术2.1 电容式加速度计接口电路2.1.1 电容式微加速度计的工作原理2.1.2 电容式加速度计接口电路2.1.3 哈尔滨工业大学设计的闭环电容式加速度计接口电路2.2 集成压阻式加速度计接口电路2.2.1 压阻式加速度计的工作原理2.2.2 压阻式加速度计接口asic2.3 集成压电式加速度计接口电路2.3.1 压电式加速度计工作原理2.3.2 压电式加速度计接口电路2.4 集成谐振式加速度计接口电路2.4.1 谐振式加速度计工作原理2.4.2 谐振式加速度计接口电路2.5 集成热对流武加速度计接口电路2.5.1 热对流加速度计的工作原理2.5.2 热对流加速度计接口电路2.6 集成多轴加速度计接口电路参考文献第3章 微机械陀螺接口asic集成技术3.1 硅微机械陀螺3.1.1 微机械陀螺等效电学模型3.1.2 接口电路原理3.1.3 pcb混合集成电路3.2 石英微机械陀螺接口asic3.2.1 石英微机械陀螺基本原理3.2.2 石英微机械陀螺接口电路3.3 典型集成微陀螺产品及应用3.3.1 adxrs3003.3.2 adxrs614参考文献第4章 磁传感器接口asic集成技术4.1 各向异性磁阻传感器4.1.1 各向异性磁阻传感器原理4.1.2 各向异性磁阻接口asic电路4.2 巨磁阻传感器4.2.1 巨磁阻传感器原理4.2.2 巨磁阻传感器接口asic4.3 巨磁阻抗传感器4.3.1 巨磁阻抗传感器原理4.3.2 巨磁阻抗传感器接口asic4.4 磁通门传感器4.4.1 磁通门传感器原理4.4.2 等效电学模型4.4.3 磁通门传感器接口asic参考文献第5章 mems压力传感器等接口asic集成技术5.1 集成压力传感器5.1.1 集成压力传感器分类5.1.2 集成压力传感器结构及工作原理5.1.3 压力传感器接口电路5.1.4 典型集成压力传感器产品及应用5.1.5 国外各大公司集成压力传感器部分产品一览5.2微（型）麦克风5.2.1 常见麦克风的种类5.2.2 mems微麦克风5.2.3 电容式麦克风的工作原理5.2.4 微麦克风接口电路5.2.5 典型产品及应用5.3 mems红外传感器及接口电路5.3.1 mems红外传感器工作原理5.3.2 接口电路及单片集成参考文献

封面

书名:MEMS传感器接口ASIC集成技术

作者:刘晓为

页数:224

定价:¥86.0

出版社:国防工业出版社

出版日期:2013-02-01

ISBN:9787118085150

PDF电子书大小:140MB 高清扫描完整版