微系统设计导论
本书特色
[
《微系统设计导论（第2版）》系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件（如膜片、微梁）、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。
]
内容简介
[
《微系统设计导论（第2版）》是以微结构设计与系统功能优化为基础，详细介绍微系统设计的教科书。本书通过建立和求解系统方程来进行参数设计，而微系统和微结构的工作原理是建立解析方程的基础，因此本书着重介绍微结构在微系统中的应用及其工作原理的表达式。
]
目录
目录绪论
第1章尺度效应
第2章弹性变形
第3章薄膜练习题 第4章导路练习题第5章电学测量练习题第6章膜片练习题第7章膜片上的应变计练习题第8章梁练习题第9章振动练习题第10章微流道练习题第11章电容力练习题第12章压电效应练习题第13章热执行器练习题第14章微光学技术练习题第15章扩散练习题第16章微阀练习题第17章微泵练习题第18章微量给料第19章物理域的类比性练习题第20章机械电子器件练习题第21章压力传感器练习题第22章流量传感器练习题第23章惯性传感器练习题参考文献
封面
书名:微系统设计导论
作者:沃纳·卡尔·施默博格
页数:未知
定价:¥68.5
出版社:清华
出版日期:2019-10-31
ISBN:9787302517573
PDF电子书大小:114MB 高清扫描完整版