硅通孔3D集成技术_PDF下载[132MB-百度云](美)JohnH.Lau著

本书特色

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　　《信息科学技术学术著作丛书：硅通孔3d集成技术》系统讨论用于电子、光电子和mems器件的三维集成硅通孔（tsv）技术的*新进展和未来可能的演变趋势，同时详尽讨论三维集成关键技术中存在的主要工艺问题和可能的解决方案。通过介绍半导体工业中的纳米技术和三维集成技术的起源和演变历史，结合当前三维集成关键技术的发展重点讨论tsv制程技术、晶圆减薄与薄晶圆在封装组装过程中的拿持技术、三维堆叠的微凸点制作与组装技术、芯片／芯片键合技术、芯片／晶圆键合技术、晶圆／晶圆键合技术、三维器件集成的热管理技术以及三维集成中的可靠性等关键技术问题，*后讨论可实现产业化规模量产的三维封装技术以及tsv技术的未来发展趋势。
　　《信息科学技术学术著作丛书：硅通孔3d集成技术》适合从事电子、光电子、mems等器件三维集成研究工作的工程师、技术研发人员、技术管理人员和科研人员阅读，也可以作为相关专业大学高年级本科生和研究生的教材。

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内容简介

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作者简介

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　　曹立强，1974年9月出生。工学博士，现为中国科学院微电子研究所研究员，博士生导师，中国科学院“百人计划”学者。1997年毕业于中国科学技术大学，2003年在瑞典Chalmers大学微电子及纳米技术研究中心获得博士学位。曾在瑞典国家工业产品研究所、北欧微系统集成技术中心、美国Intel技术开发有限公司从事系统级封装技术的研发和管理工作。主要从事先进封装的研究工作，承担了国家科技重大专项、国家自然科学基金重点项目、国家创新团队国际合作计划等项目，在电子封装材料、品圆级系统封装、三维硅通孔互连技术等方面取得多项成果，授权发明专利10余项，SCI/EI收录论文50余篇。

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序前言致谢导读第1章半导体工业的纳米技术和三维（3d）集成技术1.1 引言1.2 纳米技术1.2.1 纳米技术起源1.2.2 纳米技术重要的里程碑1.2.3 石墨烯与电子工业1.2.4 纳米技术的展望1.2.5 摩尔定律：电子工业的纳米技术1.3 三维集成技术1.3.1 硅通孔（tsv）技术1.3.2 三维集成技术的起源1.4 三维硅集成技术的挑战和展望1.4.1 三维硅集成技术1.4.2 三维硅集成键合组装技术1.4.3 三维硅集成技术面临的挑战1.4.4 三维硅集成技术的展望1.5 三维集成电路（3dic）集成技术的潜在应用和挑战1.5.1 3dic集成技术的定义1.5.2 移动电子产品的未来需求1.5.3 带宽和widei／o的定义1.5.4 储存器的带宽1.5.5 存储器芯片堆叠1.5.6 widei／o存储器1.5.7 widei／o动态随机存储器（dram）1.5.8 widei／o接口1.5.9 2.5 d和3dic集成（有源和无源转接板）技术1.6 2.5 dic*新进展（转接板）技术的*新进展1.6.1 用作中间基板的转接板1.6.2 用作应力释放（可靠性）缓冲层的转接板1.6.3 用作载板的转接板1.6.4 用作热管理的转接板1.7 三维集成tsv无源转接板技术发展的新趋势1.7.1 双面贴装空腔式转接板技术1.7.2 有机基板开孔式转接板技术1.7.3 设计案例1.7.4 带有热塞或散热器的有机基板开孔式转接板技术1.7.5 超低成本转接板技术1.7.6 用于热管理的转接板技术1.7.7 对于三维光发射二极管（led）和sip有埋入式微流道的转接板1.8 埋人式3dic集成1.8.1 带应力释放间隙的半埋入式转接板1.8.2 用于光电互连的埋入式三维混合ic集成技术1.9 总结与建议1.10 tsv专利1.11 参考文献1.12 其他阅读材料1.12.1 tsv、3d集成和可靠性1.12.2 3dmems和ic集成1.12.3 半导体ic封装第2章硅通扎（tsv）技术2.1 引言2.2 tsv的发明2.3 可采用tsv技术的量产产品2.4 tsv孔的制作2.4.1 drie与激光钻孔2.4.2 制作椎形孔的drie工艺……第3章硅通孔（bv）：机械、热和电学行为第4章薄晶圆强度测量第5章薄晶圆拿持技术第6章微凸点制作、组装和可靠性第7章微凸点的电迁移第8章瞬态液相键合：芯片到芯片（c2c），芯片到晶圆（c2w），晶圆到晶圆（w2w）第9章三维集成电路集成的热管理第10章三维集成电路封装第11章三维集成的发展趋势索引