微制造与纳米技术_PDF下载[112MB-百度云]马哈里克

本书特色

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《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（mems）、微光机电系统（moems）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。

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内容简介

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《微制造与纳米技术》一书用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。通观全书不仅具有权威性，而且内容丰富、理论深入浅出、实用性强，是广大微制造与纳米技术领域工作者和有关院校师生比较理想的一本参考书。

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译丛序言译者的话前言第1章导论1.1背景介绍1.2概述1.2.1精密工程1.2.2微铣削和微型钻孔1.3微机电系统1.4微电子制造方法1.4.1体微加工1.4.2表面微加工1.5微型化仪器1.6微机械电子1.7纳米修整1.8光变图像1.9微能源和化学系统1.10空间微推进1.11电子束纳米印刷1.12纳米技术1.13碳纳米管及其结构1.14分子逻辑门1.15纳米尺度生物传感器1.16c60及其衍生物的化学交联1.17燃料电池1.18参考文献第2章微机电系统与微光机电系统原理2.1概述2.2执行器的驱动原理2.3制造工艺2.4机械微机电系统2.4.1机械传感器2.4.2加速度计、悬臂式传感器和电容测量2.4.3扬声器2.4.4陀螺仪2.4.5机械执行器2.5热微机电系统2.5.1计温学2.5.2数据存储应用2.5.3微型加热器气体传感器2.5.4热执行器2.6磁微机电系统2.7微光机电系统2.8空间光调制器2.9数字微镜设备2.10光栅光阀（glv）2.11参考文献第3章微制造中的激光技术3.1概述3.2激光的产生3.3激光的特性3.3.1单色性3.3.2方向性3.3.3亮度3.3.4相干性3.3.5空间分布3.3.6时间脉冲波形3.4激光应用3.5微加工中的激光技术微制造与纳米技术目录3.5.1背景3.5.2激光的吸收和反射3.5.3应用技术基础3.6参考文献第4章激光干涉仪几何误差软补偿4.1概述4.2几何误差校正概述4.2.1误差测量系统4.2.2精度评价4.3几何误差补偿方法4.3.1几何误差查找表4.3.2几何误差参数模型4.4实验结果4.4.1误差近似4.4.2线性误差4.4.3直线度误差4.4.4角度误差4.4.5垂直度误差4.4.6评价4.5小结4.6参考文献第5章体微加工中的蚀刻工艺表征5.1概述5.2体微加工的发展历史5.3湿法体微加工（wbm）5.4晶体学及其影响5.5硅作为基板与结构材料5.5.1硅作为基板5.5.2硅作为结构材料5.5.3应力与应变5.5.4硅的热力学性质5.6湿法蚀刻流程5.6.1各向同性蚀刻剂5.6.2反应现象5.6.3各向同性蚀刻曲线5.6.4掩膜5.6.5依赖型掺杂蚀刻剂5.7各向异性蚀刻5.7.1各向异性蚀刻剂5.7.2各向异性蚀刻剂掩膜5.8蚀刻控制：停止技术5.8.1硼扩散蚀刻停止5.8.2电化学蚀刻自停止技术5.8.3薄膜与绝缘硅蚀刻停止5.9体微加工中蚀刻存在的问题5.9.1基板面消耗5.9.2角补偿5.10小结5.11参考文献第6章表面微加工和晶片粘合工艺的特点6.1概述6.2光刻工艺6.3表面微加工6.4表面微加工工艺特点6.4.1隔离层6.4.2牺牲层6.4.3结构材料6.4.4选择性蚀刻6.5特性6.5.1附着力6.5.2应力6.5.3黏滞6.6晶片键合6.6.1阳极键合6.6.2融化键合6.7小结6.8参考文献第7章文件安全领域微加工：光变图像7.1引言7.2概述7.3光变图像箔微结构7.3.1防伪全息图7.3.2kinegramtm技术7.3.3catpixtm电子束光刻微结构7.3.4结构稳定性7.3.5pixelgramtm调色概念7.3.6基于exelgramtm轨道的光变图像微结构7.3.7隐蔽图片显微图像安全特征7.3.8kinegramtm和exelgramtm的比较7.3.9vectogramtm图像多路复用技术7.3.10间隙刻槽单元调制7.4通用的光变图像微结构7.4.1光变油墨技术7.4.2衍射数据箔7.4.3生物识别光变图像技术7.5光学图像单?嗦氡砻婺擅?制造7.5.1微镜光变图像7.5.2微镜光变图像的起源7.5.3微镜光变图像光学效应总结7.6小结7.7参考文献第8章纳米修整技术8.1概述8.2传统加工工艺8.2.1研磨8.2.2抛光8.2.3珩磨8.3高级修整工艺（afps）8.3.1磨料流加工（afm）8.3.2磁力研磨（maf）8.3.3磁流变加工（mrf）8.3.4磁流变磨料流修整（mraff）8.3.5磁悬浮抛光（mfp）8.3.6弹性喷射加工（eem）8.3.7离子束加工（ibm）8.3.8化学机械抛光（cmp)8.4参考文献第9章微纳米技术在空间微推进系统中的应用9.1概述9.2微型化航天器微推动的子系统和设备9.3推进系统9.3.1固体推进剂9.3.2冷气体9.3.3胶体推进器9.3.4热气体9.3.5单组元和双组元推进系统9.3.6再生加压循环9.3.7姿态调整与控制系统9.4冷气体微推进器的实现9.4.1气体和流体动力学9.4.2原型设计9.5小结9.6参考文献第10章碳纳米管的制造和应用：纳米技术基础10.1概述10.2纳米技术和碳纳米管的前景10.3碳纳米管的研究进展10.4碳纳米管的结构和属性……