泡生法蓝宝石单晶生长工艺与技术_PDF下载[133MB-百度云]刘成成

本书特色

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《泡生法蓝宝石单晶生长工艺与技术》系统总结了泡生法生长蓝宝石单晶的原理方法与关键技术。在介绍泡生法的基础知识、热场设计原则和典型生长工艺的基础上，系统总结了作者多年从事泡生法蓝宝石单晶生长的相关研究成果和工作经验，结合实例着重对真空系统、热场、工艺和电控系统等技术问题展开讨论。叙述简单易懂，实用型较强，便于自学。*后，对泡生法蓝宝石单晶生长相关领域技术的发展给出了作者的展望。

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内容简介

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《泡生法蓝宝石单晶生长工艺与技术》可供从事泡生法长晶一线人员参考使用，也可供从事相关领域的科研人员学习和参考。

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目录序前言第1章蓝宝石生长方法概述1.1大尺寸蓝宝石单晶生长的主要方法1.1.1提拉法1.1.2导模法1.1.3热交换法1.1.4坩埚下降法1.1.5水平定向生长法1.1.6泡生法1.2蓝宝石单晶主要生长技术优缺点及应用比较第2章蓝宝石单晶泡生法生长技术2.1泡生法的基本原理2.2泡生法生长蓝宝石单晶的典型工艺2.3典型的泡生法生长蓝宝石单晶炉系统构成2.4泡生法蓝宝石单晶的生长与加工工艺流程第3章泡生法生长蓝宝石所需真空的获得与保持3.1泡生法常用真空系统3.1.1泡生法长晶过程中以分子泵为主泵的真空系统3.1.2泡生法长晶过程中以油扩散泵为主泵的真空系统3.2分子泵的构造及工作原理3.2.1分子泵的优点3.2.2常规复合分子泵的缺点3.2.3一种新型抗大气冲击分子泵的介绍3.2.4分子泵系统常见故障及解决方案3.3油扩散泵的构造及工作原理3.3.1油扩散泵的优点3.3.2油扩散泵的缺点3.3.3油扩散泵系统常见故障及解决方案3.4旋片式真空泵的工作原理3.5真空腔室常用焊接方案及注意事项3.5.1真空腔室材料的选择3.5.2焊接方法及规范3.5.3焊材的选择及焊缝的形式3.5.4导电电极3.6单晶炉系统常见的真空问题及相应解决方案3.6.1扩散泵返油问题3.6.2单晶炉系统真空度低的原因及解决方案3.7抽气时间计算第4章泡生法热场材料与设计技术4.1泡生法生长蓝宝石热场的构成4.1.1钨钼热场的结构和特点4.1.2氧化锆热场的特点4.2泡生法生长蓝宝石的温度梯度4.2.1温度梯度的概念4.2.2部分热场部件对晶体生长的影响4.3泡生法蓝宝石生长系统的温场4.3.1温场结构4.3.2温场分布4.3.3温场设计的原则4.3.4温场的两种典型结构4.4冷却循环水4.4.1循环水的设计和控制4.4.2籽晶杆循环水4.5热场材料4.5.1坩埚4.5.2发热体4.5.3保温屏4.6国内外典型热场的主要优缺点4.6.1乌克兰热场4.6.2企业热场一4.6.3企业热场二4.6.4俄罗斯某企业氧化锆热场4.7热场设计方向的建议第5章泡生法蓝宝石的原料与籽晶5.1原料5.1.1原料的生产方法5.1.2原料的使用要求5.2籽晶的选择和使用注意事项5.2.1籽晶的选用5.2.2引晶时对籽晶的使用第6章泡生法蓝宝石单晶生长工艺技术6.1晶体炉的检测6.2泡生法生长蓝宝石单晶化料6.3泡生法生长蓝宝石的引晶6.3.1引晶温度和晶结6.3.2泡生法的旋转引晶6.3.3籽晶杆的水流量对引晶的影响6.4引晶工艺种类6.5冷心和浮岛6.6泡生法蓝宝石单晶的生长6.6.1蓝宝石单晶生长各阶段的主要结晶动力6.6.2放肩6.6.3等径6.6.4收尾脱埚6.6.5退火6.6.6自然冷却6.7拉速控制6.8惰性气体的充填6.9蓝宝石单晶底部的黄色杂质6.10蓝宝石单晶生长环境的要求6.11停电应急处理及单晶炉其他操作处理6.11.1停电应急处理6.11.2其他操作处理第7章泡生法蓝宝石单晶的品质分析7.1泡生法蓝宝石单晶中的应力分析7.1.1应力的概念7.1.2单晶中应力的分类7.1.3泡生法蓝宝石单晶中应力的危害7.1.4泡生法蓝宝石单晶的应力检测7.1.5应力的消除技术方案7.2泡生法蓝宝石单晶的气泡分析7.2.1单晶中气泡产生的原因7.2.2典型气泡成因分析7.2.3泡生法蓝宝石单晶中气泡的检测方法和存在形式7.2.4消除泡生法蓝宝石单晶中气泡的方案7.3泡生法蓝宝石单晶中的散射颗粒分析7.3.1泡生法蓝宝石单晶中的散射颗粒及其产生的原因7.3.2消除泡生法蓝宝石单晶中散射颗粒的技术方案7.4泡生法蓝宝石单晶中的晶界分析7.4.1单晶中晶界产生的原因7.4.2晶界的检测方法和存在形式7.4.3消除泡生法蓝宝石单晶中晶界的技术方案7.5泡生法蓝宝石单晶中的位错分析7.5.1单晶中位错产生的原因和种类7.5.2位错的检测方法7.5.3降低位错的技术方案7.6泡生法蓝宝石单晶的其他品质问题分析7.6.1单晶无晶向的原因7.6.2led衬底对泡生法蓝宝石单晶的要求7.6.3窗口对泡生法蓝宝石单晶的要求第8章泡生法蓝宝石单晶炉的电气系统与控制8.1泡生法生长蓝宝石电源系统主要技术指标8.2蓝宝石长晶厂供电方式8.3泡生法生长蓝宝石电源系统方案8.3.1普通电力变压器配置电源柜8.3.2普通电力变压器配置电源柜及外挂apf8.3.3普通电力变压器配置pwm整流柜及电源柜8.3.4移相变压器配置直流配电柜及电源柜8.3.5提升供配电系统性能的其他方法8.4泡生法蓝宝石单晶生长过程控制的特点8.5泡生法蓝宝石单晶生长控制系统组成8.5.1温度控制系统8.5.2抽真空系统及检测系统8.5.3水冷却系统8.5.4籽晶杆运动系统8.5.5称重系统8.5.6测温系统8.5.7机器视觉系统8.6控制系统硬件选型8.7控制系统软件的选择第9章展望参考文献彩图