超快激光微纳加工:原理.技术与应用_PDF下载[93MB-百度云]程亚

本书特色

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本书详细介绍了飞秒激光微纳加工技术所涉及的原理及相关应用，共有八个章节。*章主要介绍飞秒激光微纳加工的原理，包括飞秒激光与物质（介质）相互作用的原理，飞秒激光在透明介质中的传输理论，飞秒激光微纳加工的机理及特性等；第二章主要介绍飞秒激光技术，包括飞秒激光的产生与发展，飞秒激光在材料加工中的应用等；第三章主要介绍飞秒激光光束整形技术，包括时域聚焦脉冲整形（技术）、狭缝整形等技术的原理及其在（飞秒）微纳加工中的应用；等

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丛书序序言前言第1章超快激光加工概述0011.1超快激光加工介绍0011.2超快激光加工的特点0021.2.1热影响区的抑制0021.2.2降低等离子体屏蔽0031.2.3多光子吸收0031.2.4材料内部改性0041.2.5电介质中的载流子激发0041.2.6超快激光加工的空间分辨率0041.3超快激光材料处理0051.3.1表面微加工0051.3.2表面微纳结构制备0071.3.3纳米烧蚀0081.3.4双光子聚合0091.3.5透明材料的内部改性0101.3.6生物医学应用0121.3.7工业和商业应用013参考文献014第2章超快激光技术简介0212.1超快激光技术0212.1.1掺钛蓝宝石激光器0212.1.2啁啾脉冲放大技术0222.1.3飞秒光纤激光器0232.1.4薄片激光器0242.2飞秒激光脉冲诊断技术0242.2.1飞秒脉冲的自相关测量0252.2.2频率分辨光学开关法0252.2.3自参考光谱相位相干电场重建法0262.3飞秒激光材料加工技术0282.3.1飞秒激光直写技术0282.3.2飞秒激光并行微纳加工技术0292.4飞秒激光脉冲整形技术0312.4.1飞秒激光脉冲的时域整形技术0312.4.2飞秒激光脉冲的空间整形技术0322.4.3飞秒激光脉冲的时空整形技术0332.4.4飞秒激光脉冲的偏振整形033参考文献034第3章超快激光脉冲时空整形0393.1飞秒脉冲时域整形0393.1.1飞秒脉冲整形简介0393.1.2双/多脉冲加工0443.1.3脉冲时域自适应控制0453.2飞秒光束空间整形0473.2.1激光直写截面控制0473.2.2多光束并行处理0493.2.3自适应光束空间整形0503.3飞秒激光时空聚焦0513.3.1时空聚焦原理简介0513.3.2时空聚焦三维各向同性直写0523.3.3时空聚焦三维光刻0543.3.4脉冲前沿倾斜和焦面强度倾斜0553.4光束整形加工应用举例0563.4.1无衍射光束加工0563.4.2脉冲偏振整形加工0583.4.3飞秒激光超分辨加工059参考文献060第4章超快激光对材料的表面处理0654.1飞秒激光加工薄膜材料0654.1.1飞秒激光对薄膜材料的烧蚀0654.1.2薄膜表面的微凸起结构0674.2材料表面的钻孔与切割0684.2.1表面钻孔0684.2.2表面切割0694.3飞秒激光诱导表面周期结构0704.3.1飞秒激光诱导表面周期结构的特点0704.3.2飞秒激光诱导表面周期性结构的形成机理0734.4硅表面微锥结构0744.5飞秒激光诱导表面微纳米结构的应用0764.5.1材料表面光学特性调控0764.5.2表面浸润特性调控0804.5.3生物化学应用082参考文献083第5章基于双光子聚合的飞秒激光三维直写0895.1双光子聚合的原理0895.2双光子聚合的分辨率0915.3材料的功能化0935.4光学元件的加工0955.5微纳机械的加工0975.6微流体器件的加工0985.7医学和生物组织工程中的应用0995.8三维金属微纳结构的加工101参考文献102第6章透明介电材料内部的三维光子学集成1066.1利用飞秒激光实现透明介电材料内部改性的原理概述1066.2透明材料内部中三维光波导的制备1076.2.1制作波导的影响因素1086.2.2波导的制作方式1106.2.3不同材料1106.3光子器件的制备1146.3.1分束器1146.3.2定向耦合器1156.3.3马赫曾德尔干涉仪1156.3.4频率转换器1176.3.5有源光子器件1176.3.6集成量子光子回路1186.3.7其他微光学器件1206.4高品质光学微腔1216.4.1在玻璃上制备高品质的光学微腔1226.4.2制备高品质的晶体微腔123参考文献125第7章飞秒激光直写制备微流控芯片和集成光流器件1347.1飞秒激光辅助湿法化学刻蚀制备微流结构1357.2水辅助飞秒激光直写制备微流结构1397.3水辅助飞秒激光直写制备纳流结构1447.4飞秒激光直写实现光流控集成1467.4.1自由空间微光学元件和微流控系统的集成1467.4.2光波导和微流控系统的集成1497.4.3集成芯片在生物医学研究中的应用150参考文献152第8章超快激光加工在现代工业中的应用1588.1表面处理1588.1.1抗摩擦损耗结构1588.1.2浮雕和成型模具1598.1.3光电子功能性修饰1618.2高精度钻孔1628.3精密切割1658.3.1透明介质1658.3.2半导体和金属1658.3.3危险化学物品1678.4透明材料三维加工应用1698.4.1激光三维标记与光存储1698.4.2激光玻璃焊接1708.5医疗应用举例1728.5.1医用支架加工1728.5.2激光手术173参考文献175索引177