聚合物微纳制造技术_PDF下载[41MB-百度云]王立鼎

本书特色

[

　　《微米纳米技术丛书·mems与微系统系列：聚合物微纳制造技术》总结了作者王立鼎、刘冲、徐征、李经民、刘军山等十年来在聚合物微纳制造方面的科研成果，并介绍了国内外在这方面*新研究成果和发展动态，力求全面反映聚合物微纳制造技术*新发展水平。阐述了聚合物微纳制造的各项关键技术，涵盖了聚合物材料特性、微纳成形工艺技术及设备、高能束刻蚀、封合连接技术及设备等，并对聚合物微纳技术典型应用情况进行了总结。目的是使读者能够切实和全面地了解聚合物微纳制造技术的原理和*新进展。

]

第1章绪论1.1 微纳制造概论1.2 聚合物微纳制造发展简史1.3 聚合物微纳制造方法概述参考文献第2章聚合物材料结构特征与性能2.1 聚合物材料的特点与分类2.2 微纳领域常用的聚合物材料2.2.1 聚甲基丙烯酸甲酯2.2.2 聚酰亚胺2.2.3 聚对二甲苯2.2.4 聚二甲基硅氧烷2.2.5 光敏聚合物2.3 聚合物材料的玻璃化转变2.3.1 描述热塑性聚合物玻璃转化的理论2.3.2 聚合物分子链刚性对玻璃转化温度的影响2.3.3 聚合物分子量对玻璃转化温度的影响2.3.4 聚合物分子结构对玻璃转化温度的影响2.3.5 交联度对玻璃转化温度的影响2.4 热塑性聚合物材料的高弹态力学性能2.4.1 高弹性2.4.2 热弹逆变现象2.5 聚合物熔体的流变特性2.5.1 聚合物熔体流动传输方程2.5.2 聚合物熔体本构关系参考文献第3章微注塑成型3.1 微注塑成型的应用背景3.2 微注塑成型的特征3.3 微注塑成型计算机辅助设计方法3.4 微注塑成型模具制造方法3.4.1 微注塑成型模具组成3.4.2 微模具型芯材料选择和加工方法3.5 微注塑机3.6 微注塑成型模具设计与注塑工艺优化3.6.1 微注塑成型模具设计3.6.2 微注塑成型工艺参数优化参考文献第4章微热压成型4.1 聚合物微热压形变填充机理4.2 微热压中聚合物形变填充理论模型4.2.1 玻璃态应力模型4.2.2 高弹态应力模型4.2.3 应变模型4.3 热塑性聚合物热压形变填充的数值模拟4.4 玻璃态／高弹态聚合物热压形变填充实验4.5 微热压成型设备4.6 微热压模具制作技术4.7 微热压成型工艺正交试验参考文献第5章软刻蚀方法5.1 pdms弹性印章及其他pdms微器件的制造方法5.1.1 pdms固化机理5.1.2 pdms模塑成型工艺步骤5.1.3 pdms表面改性5.1.4 pdms微纳器件封合方法5.1.5 典型pdms微纳器件与单元5.2 微接触印刷法5.3 转移微模塑法5.4 毛细微模塑法5.5 溶剂辅助聚合物微模塑参考文献第6章高能束微纳刻蚀6.1 激光刻蚀6.1.1 激光刻蚀的概念与特征6.1.2 co2激光刻蚀6.1.3 准分子激光刻蚀6.1.4 飞秒激光刻蚀6.2 电子束和聚焦离子束刻蚀6.2.1 电子束刻蚀6.2.2 聚焦离子束刻蚀6.3 等离子体刻蚀参考文献第7章聚合物微纳器件封合与集成7.1 热键合封合7.1.1 直接热键合7.1.2 辅助热键合7.1.3 多层微流控芯片热键合7.2 激光焊接7.3 直接黏接法7.4 超声波焊接7.5 聚合物表面的金属图形化7.5.1 易腐蚀金属的湿法腐蚀工艺7.5.2 惰性金属的剥离工艺7.5.3 化学镀工艺参考文献第8章聚合物微流控芯片及应用8.1 聚合物微流控芯片概述8.2 微流控芯片中流体流动与物质输运8.2.1 微流控芯片中流体流动现象8.2.2 微流控芯片中样品输运现象8.2.3 微流控芯片中液体流动和样品输运特点8.2.4 描述微流控芯片中液体和样品输运的无量纲数8.3 微流控芯片单元技术8.3.1 过滤8.3.2 富集浓缩8.3.3 微混合8.3.4 分离单元8.3.5 检测方法8.4 微流控芯片应用现状8.4.1 临床疾病诊断方面8.4.2 食品安全方面8.4.3 环境监测领域8.5 展望参考文献第9章聚合物在微小型燃料电池中的应用9.1 微型质子交换膜燃料电池概述9.1.1 发展历程9.1.2 结构和工作原理9.1.3 应用前景9.2 聚合物流场板的应用9.2.1 燃料电池流场板功能9.2.2 聚合物流场板制作方法9.2.3 聚合物流场板导电增强方法9.2.4 基于聚合物流场板的微型燃料电池9.3 质子交换膜9.3.1 全氟质子交换膜9.3.2 全氟质子交换膜的改性9.3.3 质子交换膜厚度对微型燃料电池性能的影响9.4 聚合物微封装技术9.4.1 微封装工艺流程9.4.2 封装应力对微型燃料电池性能的影响9.4.3 封装聚合物特性9.5 应用实例9.5.1 环氧树脂封装孪生mems微型燃料电池9.5.2 次瓦级孪生电池堆9.5.3 气液自驱替燃料电池堆参考文献