薄膜技术与薄膜材料_PDF下载[41MB-百度云]田民波

内容简介

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　　薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。《薄膜技术与薄膜材料/材料科学与工程系列》内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面，知识全面，脉络清晰。全书共17章，文字通俗易懂，并配有大量图解，每章后面附有习题，有利于对基本概念和基础知识的理解、掌握与运用。　　《薄膜技术与薄膜材料/材料科学与工程系列》可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材，对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员，也具有极为难得的参考价值。

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第1章真空技术基础1．1 真空的基本知识1．1．1 真空定义1．1．2 真空度量单位1．1．3 真空区域划分1．1．4 气体与蒸气1．2 真空的表征1．2．1 气体分子运动论1．2．2 分子运动的平均自由程1．2．3 气流与流导1．3 气体分子与表面的相互作用1．3．1 碰撞于表面的分子数1．3．2 分子从表面的反射1．3．3 蒸发速率1．3．4 真空在薄膜制备中的作用习题第2章真空泵与真空规2．1 真空泵2．1．1 油封机械泵2．1．2 扩散泵2．1．3 吸附泵2．1．4 溅射离子泵2．1．5 升华泵2．1．6 低温冷凝泵2．1．7 涡轮分子泵和复合涡轮泵2．1．8 干式机械泵2．2 真空测量仪器——总压强计2．2．1 麦克劳真空规2．2．2 热传导真空规2．2．3 电离真空计——电离规2．2．4 盖斯勒管2．2．5 隔膜真空规2．2．6 真空规的安装方法2．3 真空测量仪器——分压强计2．3．1 磁偏转型质谱计2．3．2 四极滤质器（四极质谱计）习题第3章真空装置的实际问题3．1 排气的基础知识3．2 材料的放气3．3 排气时间的估算3．4 实用的排气系统3．4．1 离子泵系统3．4．2 扩散泵系统3．4．3 低温冷凝泵一分子泵系统3．4．4 残留气体3．5 检漏3．5．1 检漏方法3．5．2 检漏的实际操作3．6 大气温度与湿度对装置的影响3．7 烘烤用的内部加热器3．8 化学活性气体的排气3．8．1 主要装置及存在的问题3．8．2 排气系统及其部件习题第4章气体放电和低温等离子体4．1 带电粒子在电磁场中的运动4．1．1 带电粒子在电场中的运动4．1．2 带电粒子在磁场中的运动4．1．3 带电粒子在电磁场中的运动4．1．4 磁控管和电子回旋共振4．2 气体原子的电离和激发4．2．1 碰撞——能量传递过程4．2．2 电离——正离子的形成4．2．3 激发——亚稳原子的形成4．2．4 回复——退激发光4．2．5 解离——分解为单个原子或离子4．2．6 附着——负离子的产生4．2．7 复合——中性原子或原子团的形成……第5章薄膜生长与薄膜结构第6章真空蒸镀第7章离子镀和离子束沉积第8章溅射镀膜第9章化学气相沉积（CVD）第10章干法刻蚀第11章平坦化技术第12章表面改性及超硬膜第13章能量及信号变换用薄膜与器件第14章半导体器件、记录和存储用薄膜技术与薄膜材料第15章平板显示器中的薄膜技术与薄膜材料第16章太阳电池中的薄膜技术与薄膜材料第17章白光LED固体照明与薄膜技术参考文献作者书系