MEMS系统级建模_PDF下载[37MB-百度云](德)塔玛拉·贝克唐德(TamaraB

本书特色

[

　　《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》是目前国内外叙述微机电系统（MEMS）系统级建模的专著。
　　MEMS技术发展对快速、高效及合适的设计工具提出了迫切需求，以便优化包括MEMS元件、控制和读出电路以及封装在内的完整系统性能。针对系统设计及优化需求，《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》全面论述了MEMS系统级建模技术，内容共分五部分。*部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础，包括广义基尔霍夫网络理论基础，模型降阶技术的理论背景，系统级仿真算法以及协同仿真。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术，包括基于矩匹配的线性模型降阶技术及其在电热模型中的应用，基于投影的模型降阶技术及其在微流体、RF MEMS开关等模型中的应用，基于模态叠加的非线性模型降阶技术及其在MEMS陀螺仪模型中的应用，静电执行器的线性与非线性模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模，包括含有压电换能器、电源管理和储能组件的能量收集模块的系统级模型，含有电路的RF MEMS开关和谐振器的系统级模型，含有加速度计、数字控制器、RF收发器及电池的系统级模型，含有加速度计、陀螺仪及∑△调制器的系统级模型。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境，包括Coventor软件的MEMS ，ANSYS软件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite软件的SYNPLE，MEMS Pro软件的SoftMEMSMS，及网络共享的设计方法。　　《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》是目前国内外叙述微机电系统（MEMS）系统级建模的专著。
　　MEMS技术发展对快速、高效及合适的设计工具提出了迫切需求，以便优化包括MEMS元件、控制和读出电路以及封装在内的完整系统性能。针对系统设计及优化需求，《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》全面论述了MEMS系统级建模技术，内容共分五部分。*部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础，包括广义基尔霍夫网络理论基础，模型降阶技术的理论背景，系统级仿真算法以及协同仿真。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术，包括基于矩匹配的线性模型降阶技术及其在电热模型中的应用，基于投影的模型降阶技术及其在微流体、RF MEMS开关等模型中的应用，基于模态叠加的非线性模型降阶技术及其在MEMS陀螺仪模型中的应用，静电执行器的线性与非线性模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模，包括含有压电换能器、电源管理和储能组件的能量收集模块的系统级模型，含有电路的RF MEMS开关和谐振器的系统级模型，含有加速度计、数字控制器、RF收发器及电池的系统级模型，含有加速度计、陀螺仪及∑△调制器的系统级模型。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境，包括Coventor软件的MEMS ，ANSYS软件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite软件的SYNPLE，MEMS Pro软件的SoftMEMSMS，及网络共享的设计方法。
　　《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》由来自8个国家的44名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合微机电系统专业、微电子技术专业、半导体技术专业、传感器技术专业、机械工程专业、仪器仪表专业、物联网技术专业等领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读和参考。

]

内容简介

[

本书论述了MEMS系统级建模技术, 内容共分五部分。**部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境。

]

**部分物理和数学基础l 微系统建模概论1．1 微系统的系统级模型需求1．2 耦合多物理场微系统1．3 多尺度建模与仿真1．4 系统级模型术语1．5 自动化模型降阶方法1．6 复杂问题处理：参考VLSI范式1．7 模拟硬件描述语言1．8 系统级模型的一般属性1．9 AHDL的仿真能力1．10 可组合模型库1．11 参数提取、模型验证和模型确认1．12 总结参考文献2 利用广义基尔霍夫网络理论的MEMS系统级建模——基本原理2．1 引言2．2 微系统特定系统级建模的广义基尔霍夫网络2．2．1 微器件及系统的通用建模方法2．2．2 从连续场到宏模型2．2．3 宏模型推导方法2．3 应用1：基于物理的静电驱动泵的电流体宏模型2．3．1 膜驱动的宏模型2．3．2 阀的宏模型2．3．3 管道的系统级模型2．3．4 基于物理的微泵系统级模型2．3．5 模型校准和参数提取2．4 应用2：静电驱动RF MEMS开关2．5 总结参考文献3 利用模型降阶法的MEMS系统级建模——数学背景3．1 引言3．2 概述3．3 数学基础3．3．1 标量、矢量和矩阵3．3．2 向量空间、子空间、线性无关和基3．3．3 拉普拉斯变换3．3．4 有理函数3．3．5 范数3．4 数值算法3．5 线性系统理论3．5．1 传递函数3．5．2 对任意两个不同LTI系统间偏差的测量3．5．3 可控性和可观性3．5．4 实现理论3．5．5 系统的稳定性和无源性3．6 模型降阶方法的基本思想3．7 矩匹配模型降阶方法3．7．1 矩和矩向量3．7．2 投影矩阵W和V的计算3．7．3 展开点的不同选择3．7．4 矩匹配MOR方法的发展3．8 基于Gramian矩阵的模型降阶方法3．8．1 平衡截断法的动机3．8．2 平衡变换3．8．3 截断3．8．4 平衡变换的计算3．8．5 计算Gramian矩阵的加速方法3．8．6 扩展到更普遍的系统3．9 降阶模型的稳定性、无源性和误差估计3．9．1 矩匹配MOR方法的稳定性、无源性和误差界……第二部分 MEMS器件的集总单元建模方法第三部分 MEMS器件的数学模型降价第四部分完整微系统建模第五部分软件实现