硅微机械传感器

内容简介

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本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。

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封面

书名:硅微机械传感器

作者:M.ELWENSPOEK

页数:306

定价:¥35.0

出版社:中国宇航出版社

出版日期:2003-10-10

ISBN:9787801446060

PDF电子书大小:66MB 高清扫描完整版

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