脉冲激光沉积类金刚石膜技术

本书特色

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全书共七章内容。从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手，阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点，以及类金刚石膜的测试与表征；详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响，偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术；针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题，展现了多功能激光沉积系统，阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验；*后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用，展望了该技术未来发展趋势和前景。

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封面

书名:脉冲激光沉积类金刚石膜技术

作者:程勇

页数:422

定价:¥168.0

出版社:科学出版社

出版日期:2017-05-01

ISBN:9787030515513

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