RF MEMS器件设计.加工和应用
内容简介
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《微米纳米技术丛书·mems与微系统系列：rf mems器件设计、加工和应用》是**部由国内作者编著的rf mems技术专业著作，在介绍rf mems理论基础上，侧重工程应用的设计方法及工艺技术，首次系统公布了南京电子器件研究所近十年来在rf mems领域的研究成果，包括获得国家技术专利的rfmems理论研究成果和工艺技术，代表我国rf mems技术的*新成果和*前沿技术。
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目录
第1章 概述1.1 rf mems的内涵1.2 rf mems的发展历程1.2.1 国外rf mems技术发展路线1.2.2 国内rf mems技术发展路线1.3 rf mems的优势和市场前景1.3.1 rf mems技术的优势1.3.2 rf mems技术的作用1.3.3 rf mems技术的市场前景1.4 结论参考文献第2章 rf mems设计技术2.1 rf mems牵涉的力学和尺度效应2.1.1 静电力2.1.2 电磁力2.1.3 压电力2.1.4 电热力2.1.5 范德瓦尔斯力和卡西米尔力2.1.6 力的尺度效应2.2 rf mems器件的力学模型2.2.1 固支梁微结构2.2.2 悬臂梁微结构2.2.3 膜桥微结构2.2.4 rf mems开关时间计算2.2.5 rf mems开关能量消耗2.3 rf mems器件的电磁模型2.3.1 射频设计基础2.3.2 rf mems并联电容式开关2.3.3 直接接触式rf mems串联开关2.3.4 mems机械滤波器2.4 计算仿真实例分析2.4.1 设计流程2.4.2 结构设计2.4.3 射频设计2.4.4 实测结果分析2.4.5 电磁模型拟合结果参考文献第3章 rf mems工艺技术3.1 rf mems 32艺技术的发展3.2 表面牺牲层工艺3.2.1 高温表面牺牲层工艺3.2.2 低温表面牺牲层工艺3.2.3 黏附机制和抗黏附方法研究3.3 rf mems器件体硅工艺流程3.4 rf mems典型工艺介绍3.4.1 湿法腐蚀工艺3.4.2 干法刻蚀工艺3.4.3 通孔与填孔工艺3.4.4 圆片键合工艺3.4.5 圆片减薄抛光工艺3.4.6 衬底转移工艺3.5 gaas基rf mems工艺技术3.6 新材料新工艺3.6.1 聚合物材料3.6.2 liga3.6.3 纳米压印参考文献第4章 rf mems开关4.1 rf mems开关概述4.1.1 rf mems开关的特性4.1.2 rf mems开关的分类4.1.3 rf mems开关的激励方式4.1.4 rf mems开关的设计4.2 rf mems电容式开关4.2.1 rf mems电容式开关基本原理4.2.2 rf mems单膜桥开关4.2.3 rf mems双膜桥开关4.3 rf mems接触式开关4.4 rf mems开关优化设计4.4.1 高隔离度设计4.4.2 驱动信号与微波信号物理隔离的rf mems开关优化4.5 rf mems开关产品4.5.1 rmi公司的rf mems开关4.5.2 原terivicta公司的rf mems开关4.5.3 omron公司的rf mems开关4.5.4 panasonic公司的rf mems开关4.5.5 南京电子器件研究所的rf mems开关参考文献第5章 rf mems电容和电感5.1 概述5.2 结构设计5.2.1 电容和电感的q值与寄生效应5.2.2 电容结构5.2.3 电感结构参考文献第6章 rf mems移相器6.1 概述6.2 dmtl型移相器6.2.1 基本原理6.2.2 模拟dmtl移相器6.2.3 数字dmtl移相器6.3 反射型mems移相器6.3.1 并联式开关实现的数字移相器6.3.2 串联式开关实现的数字移相器6.4 开关线型mems移相器6.4.1 并联式开关实现的开关线数字移相器6.4.2 串联式开关实现的数字移相器6.4.3 基于sp4t开关实现的数字移相器6.5 开关网络型mems移相器6.6 mems数字延迟线6.7 mems移相器集成和系统参考文献第7章 rf mems谐振器7.1 概述7.2 mems谐振器7.2.1 mems谐振器基础7.2.2 梳状谐振器7.2.3 梁式谐振器7.2.4.薄膜体声波谐振器7.3 基片集成波导型谐振器7.3.1 siw mems谐振器7.3.2 siw mems谐振器的制作工艺7.4 mems压控振荡器参考文献第8章 rf mems滤波器8.1 概述8.1.1 hts滤波器8.1.2 ltcc滤波器8.1.3 rf mems滤波器8.2 微机械传输线8.2.1 薄膜支撑型微机械传输线8.2.2 微屏蔽微机械传输线8.2.3 悬浮型微机械传输线8.2.4 同轴线型微机械传输线8.2.5 波导型微机械传输线8.3 微机械滤波器8.3.1 微机械谐振滤波器8.3.2 baw滤波器8.3.3 薄膜腔体型微机械滤波器8.3.4 硅基微小型mems滤波器8.3.5 基片集成波导型mems滤波器8.3.6 硅腔mems滤波器8.4 可调滤波器8.4.1 hf-uhf mems可调谐滤波器8.4.2 2ghz-18ghz mems可调谐滤波器8.4.3 毫米波mems可调滤波器参考文献第9章 rf mems天线9.1 rf mems天线概述9.1.1 mems天线种类9.1.2 mems天线的结构9.1.3 mems天线的性能9.2 mems天线的理论与设计9.2.1 mems天线馈电方式9.2.2 mems天线辐射原理9.2.3 mems天线设计方法9.3 rf mems天线的制作9.3.1 rf mems天线制作的主要工艺9.3.2 典型的mems天线制作工艺流程9.4 rf mems天线测试9.4.1 mems天线电路性能的测试9.4.2 mems天线辐射性能的测试9.5 新型mems天线9.5.1 新型mems天线9.5.2 mems可重构天线9.5.3 mems可动天线参考文献第10章 rf mems封装与可靠性技术10.1 mems封装简介10.2 rf mems封装特点10.3 rf mems封装设计10.3.1 器件结构设计中对封装的考虑10.3.2 封装结构设计10.3.3 封装仿真技术10.4 rf mems圆片级封装技术10.4.1 rf mems封装材料10.4.2 中间过渡层键合封装10.4.3 圆片级封装信号引出10.5 rf mems可靠性10.6 rf mems开关的失效机理10.6.1 mems关电介质的电荷注入机理10.6.2 介质层电荷注入的解决方法10.6.3 mems开关直接接触失效机理及解决途径10.7 冷开关与热开关特性分析10.8 rf mems开关的功率处理能力10.8.1 dc接触式开关的功率处理能力10.8.2 电容式开关的功率处理能力参考文献第11章 应用与展望11.1 rf mems技术的应用11.1.1 rf mems开关11.1.2 fbar和mems滤波器的应用11.1.3 mems振荡器的应用11.2 rf mems技术的展望参考文献
封面
书名:RF MEMS器件设计.加工和应用
作者:朱健 编
页数:272
定价:¥99.0
出版社:国防工业出版社
出版日期:2012-12-01
ISBN:9787118085013
PDF电子书大小:109MB 高清扫描完整版