生化MEMS器件

内容简介

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　　《生化MEMS 器件》选择了受到国家项目支持的几个技术主题，在 微型泵和微型阀、微悬臂梁生化传感器、微型FAIMS 、基于M。EMS的细胞操作与分析技术等几个方面，系 统介绍了国内外进展和我国的研究成果。这几个技术 主题从器件结构上和敏感技术上看，都有独到的特点 。　　本书的特点是综述国内外研究概况和阐述研究成 果相结合，并包括阅读本书所需要的一些必要的基本 知识介绍。一些生化MEMS的设计、分析、测试等方面 相关的理论和实验技术包含在各个章节中。相信读者 通读本书后，对生化MEMS的发展、技术、应用能有一 个相对全面的了解，并有助于从事不限于本书所涉及 器件和系统的生化MEMS方面的研究。

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目录

第1章 绪论1.1 MEMS的发展1.2 生化MEMS的发展1.3 我国生化M。EMS的研究1.4 本书的主要内容第2章 微型泵和微型阀2.1 概述2.1.1 微型泵和微型阀的应用背景2.1.2 微型阀的研究概况2.1.3 微型泵的研究概况2.2 关键体硅工艺研究2.2.1 体硅各向异性腐蚀工艺2.2.2 牺牲层腐蚀技术2.2.3 深层重掺杂自停止腐蚀技术2.2.4 双面光刻技术2.2.5 凸角腐蚀补偿2.3 微型泵的工作机理2.3.1 弹性薄板变形分析2.3.2 压电致动2.3.3 双层压电梁致动分析2.4 其他致动方式2.4.1 热双金属致动2.4.2 静电致动2.4.3 电磁致动2.5 微型阀的过流特性分析2.5.1 引言2.5.2 沿程损失2.5.3 单晶硅微型阀的建模、仿真和测试2.5.4 聚酰亚胺微型阀的建模、仿真和测试2.6 微型机电系统的等效网络分析方法2.6.1 引言2.6.2 微型泵的等效电路网络模型2.6.3 压电致动微型泵的性能仿真2.6.4 压电致动微型泵的性能测试参考文献第3章 微型悬臂梁生化传感器3.1 微型悬臂梁传感器3.1.1 微型悬臂梁传感器的结构与敏感机理3.1.2 微型悬臂梁传感器的应用3.2 微型悬臂梁传感器的模型与设计3.2.1 基本理论3.2.2 连续层合薄板模型3.2.3 非连续层合薄板模型3.3 微型悬臂梁传感器的制造方法3.3.1 表面微加工技术3.3.2 体微加工技术3.4 微型悬臂梁生化检测传感器3.4.1 化学传感器3.4.2 生物传感器参考文献第4章 基于MEMS的FAIMS检测技术4.1 FAIMS简介4.1.1 什么是FAIMS4.1.2 FAIMS的研究背景4.1.3 高场非对称波形离子迁移谱的基本理论4.1.4 FAIMS技术的国内外研究现状和发展趋势4.2 影响FAIMS的各种因素4.2.1 离子在迁移区中运动的分析4.2.2 离子在迁移区的分布4.2.3 迁移管的响应特性4.2.4 迁移管的饱和电流4.2.5 迁移管的阻抗4.2.6 迁移管的功率4.2.7 FAIMS的灵敏度和分辨力4.2.8 重叠峰的解析4.3 离子源设计4.3.1 离子化方案选择4.3.2 电晕放电离子源4.3.3 大气辉光放电离子源4.4 高压高频不对称波形电源的设计4.4.1 基于功率M()SFET的脉冲源系统方案4.4.2 脉冲源系统各单元电路设计4.4.3 开关电路的设计4.4.4 功率M()SFET相关电路仿真4.5 离子检测4.5.1 几种常用的离子检测方法4.5.2 机械式法拉第筒设计与实验4.5.3 微法拉第筒设计4.5.4 微法拉第筒仿真4.5.5 微法拉第筒工艺4.5.6 微法拉第筒测试4.6 样品分析实验4.6.1 FAIMS芯片实验系统4.6.2 方波射频电压幅值变化对FAIMS灵敏度的影响4.6.3 射频电压幅值、频率和载气流速对2—戊酮FAIMS检测结果的影响4.6.4 FAIMS芯片检测限实验参考文献第5章 基于MEMS的细胞操作与分析技术5.1 概述5.2 基于MEMS的细胞操作技术5.2.1 细胞的操纵、分选和捕获5.2.2 细胞的注入5.3 基于MEMS的细胞监测与分析技术5.3.1 基于微电极的细胞电阻抗监测与分析技术5.3.2 膜片钳芯片细胞监测与分析技术5.3.3 其他MEMs细胞监测与分析技术5.4 纳米技术在细胞操作与分析中的应用参考文献

封面

书名:生化MEMS器件

作者:王晓浩

页数:337

定价:¥118.0

出版社:国防工业出版社

出版日期:2015-12-01

ISBN:9787118102932

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