薄膜材料与薄膜技术

节选

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本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识,重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征,对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。本书技术先进,内容实用,适合于从事材料研究的科研、技术人员阅读参考,同时也可作为高校材料专业教材使用。

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内容简介

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本书介绍了薄膜材料与薄膜技术的基本理论与知识,重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理,对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。

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目录

**章 真空技术基础**节 真空的基本知识一、真空度的单位二、真空区域的划分三、固体对气体的吸附及气体的脱附第二节 真空的获得

封面

薄膜材料与薄膜技术

书名:薄膜材料与薄膜技术

作者:郑伟涛

页数:249 页

定价:¥38.0

出版社:化学工业出版社

出版日期:2008-01-01

ISBN:9787122013149

PDF电子书大小:94MB

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