微机电系统及工程应用

本书特色

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本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。
　　本书可供希望了解或采用微机电系统的工程技术人员阅读，也可作为机械工程类学生学习专业选修课的参考书。

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内容简介

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《微机电系统及工程应用》是“现代机电一体化技术丛书”之一。本丛书邀请了研究光机电一体化**科研院校的多位专家参与编写，另外国内没有将光、机、电一体化技术作为一个整体技术门类来介绍的同类书。

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目录

第1章概论1.1微机电系统的定义1.2微机电系统的发展现状 第2章微尺度效应2.1概述2.2微执行器的尺度效应2.2.1静电执行器的尺度效应2.2.2电磁执行器的尺度效应2.2.3sma执行器的尺度效应2.3微流体的尺度效应2.4微尺度热学2.4.1热传导的尺度效应2.4.2热交换的尺度效应2.4.3热辐射的尺度效应2.5微摩擦基础2.6尺度效应的一个实例 第3章微机电系统材料3.1概述3.2硅材料3.3压电材料3.4形状记忆合金3.5超磁致伸缩材料3.6聚合物3.7电流变体 第4章微机械制造技术4.1概述234.2微机电系统中的传统超精密与特种加工技术4.2.1超精密机械加工4.2.2微细电火花加工4.2.3高能束微机械加工技术4.3微机电系统常用的集成电路工艺4.3.1薄膜成形4.3.2掺杂技术4.3.3光刻技术4.4硅微机械加工技术4.4.1体微加工技术4.4.2表面微加工4.4.3键合技术4.5liga工艺4.6微封装4.6.1晶片级封装4.6.2单芯片封装4.6.3多芯片与微系统封装4.6.4表面微加工法封装4.6.5三维堆装 第5章微检测技术5.1概述5.2微结构的材料特性检测技术5.2.1弹性模量的测定5.2.2微结构材料应力的检测5.2.3微结构材料热物性参数的检测5.3微机电系统构件的几何量检测5.3.1光学法测量几何尺寸5.3.2扫描隧道显微测量技术5.3.3薄膜构件的膜厚测量5.4微系统的性能检测5.4.1结构动态参数的识别5.4.2微执行器运动的检测5.4.3动态微结构的视觉检测法 第6章微构件6.1概述6.2结构梁6.3薄膜6.4铰链756.5隧道探针6.6压阻换能器件6.7静电微构件6.8可动质量块 第7章微执行器7.1概述7.2静电执行器7.3压电执行器7.4电磁执行器7.5热执行器7.6微流体执行器 第8章微传感器8.1概述8.2微型物理传感器8.2.1微型力学量传感器8.2.2微型光学量传感器8.2.3微型热学量传感器8.2.4微型声学量传感器8.3微型化学量传感器8.3.1微型气体传感器8.3.2微型离子敏传感器8.4微型生物传感器8.4.1生物传感器的分类8.4.2悬臂梁式生物传感器 第9章微构件及微器件制造工艺9.1悬臂梁的制造工艺9.2悬空结构的制造工艺9.3薄膜的制造工艺9.4微器件制造工艺示例 第10章微系统及应用10.1概述10.2在汽车工业中的应用10.2.1压力传感器13210.2.2硅加速度传感器10.3微机器人10.4微型飞行器10.5在航空航天中的应用10.6在医学中的应用10.6.1植入式人造器官10.6.2体内显微手术10.6.3微喷雾给药10.7在军事武器中的应用10.8在生物科学中的应用10.8.1dnapcr扩增芯片10.8.2dna毛细管电泳芯片10.8.3微型dna流体控制芯片10.8.4集成dna微系统芯片10.9在信息技术中的应用10.9.1微光机电器件10.9.2无线电微机电系统 第11章微机电系统设计技术11.1概述11.2微机电系统设计的概念、任务及类型11.2.1微机电系统设计概念及本质11.2.2设计类型11.2.3微机电系统设计内容11.2.4vlsi、宏机械以及微机电系统设计11.2.5设计原则11.3微机电系统设计过程11.4微机电系统现代设计方法简介–健壮性设计11.4.1健壮性设计理论11.4.2优化算法11.4.3实例–两自由度微谐振器11.5微机电系统设计方法学与发展方向 第12章微机电系统计算机辅助技术12.1概述12.2memscad设计原则12.3memscad结构体系12.4mems建模与仿真12.4.1加工过程模拟12.4.2器件特性仿真17312.4.3器件行为模型与系统仿真12.5宏模型12.5.1微机械宏模型技术现状及类型12.5.2宏模型设计的基本原则和常用方法12.6建模语言vhdl-ams简介12.6.1vhdl-ams语言的起源：vhdl语言12.6.2vhdl-ams语言基本特点12.6.3vhdl-ams语言的语法12.6.4微机械系统vhdlams描述举例12.7常用软件介绍12.7.1sugar12.7.2ansysmems12.7.3memspro参考文献  

封面

书名:微机电系统及工程应用

作者:莫锦秋

页数:191

定价:¥58.0

出版社:化学工业出版社

出版日期:2015-08-01

ISBN:9787122238832

PDF电子书大小:102MB 高清扫描完整版