纳米制造的基础研究

本书特色

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本书通过多学科交叉研究，探索基于物理/化学效 应的纳米制造新原理与新方法，揭示纳米尺度与纳米 精度下加工、成形、改性和跨尺度制造中的表面/界面 效应、尺度效应等，阐明物质结构演变机理，建立纳 米制造过程的 表征与计量方法，发展若干原创性 纳米制造工艺与装备，为实现纳米制造的一致性和批 量化、提升我国纳米制造工艺与装备水平提供理论基 础。

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目录

第l章项目概况1.1 项目介绍1.2 项目布局1.3 取得的重大进展第2章外研究情况2.1 纳米制造的 外研究现状2.2 纳米制造的 战略需求与发展趋势2.3 我国纳米制造发展态势第3章纳米／亚纳米精度制造3.1 原子层材料去除理论模型与方法3.2 纳米精度制造的重要工程应用3.3 纳米精度制造的工艺装备第4章宏微纳跨尺度结构一致性制造4.1 电场驱动纳米压印原理与方法4.2 半导体材料的电化学纳米压印原理与方法4.3 大幅面纳米尺度结构的压印制造装备4.4 功能化大面积纳米结构的工程应用第5章纳米结构与器件跨尺度集成制造5.1 自约束纳米加工的高精度可控制造5.2 外场诱导三维微纳结构制造5.3 功能纳米结构的按需区域构筑5.4 二维材料纳米结构的可控加工方法5.5 跨尺度制造的重要工程应用第6章激光微纳制造新方法6.1 超快激光时空整形微纳加工新原理、新方法6.2 超快激光微纳制造过程的多时间尺度观测6.3 激光微纳制造的重要工程应用6.4 激光微纳制造装备第7章其他纳米制造原理与技术突破7.1 功能纳米材料／结构的制备与应用7.2 纳米结构的无掩膜制造7.3 新型纳米器件制造7.4 纳米制造中的精度计量与溯源第8章展望8.1 我国纳米制造存在的不足和战略需求8.2 纳米制造持续研究的设想和建议参考文献成果附录附录1 重要论文目录附录2 获得 科学技术奖励项目一览表附录3 代表l生发明专利一览表索引

封面

书名:纳米制造的基础研究

作者:纳米制造的基础研究项目组编

页数:166页

定价:¥96.0

出版社:浙江大学出版社

出版日期:2020-04-01

ISBN:9787308197762

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