纳米科学技术及应用
本书特色
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纳米科学技术是近年来飞跃发展的一门新兴科学，本书全面系统地阐述了纳米科学技术及应用，主要内容包括：扫描探针式显微镜；纳米材料；纳米级精密测量技术；纳米级超精密加工；纳米级表层物理力学性能检测和纳米摩擦学；纳米电子学；微机械和微机电系统及其制造技术。本书内容丰富，不仅系统地讲述了纳米科学技术的基础原理和技术，同时还介绍了纳米科技的*发展和成就。�� 本书可作为相关专业科研人员的重要参考书,也可作为机械类专业研究生和本科生的教材。�おおお�
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作者简介
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袁哲俊 1926年生，江苏宝山（今属上海市）人。哈尔滨工业大学教授，机械制造学科首批博士生导师，哈尔滨工业大学机械制造学科的创始人之一，国务院学位委员会第二届学科评议组成员。曾被评选为哈尔滨市第一届人民代表大会代表；全国先进工作者，并出席全国先进工作者代表大会；航天部有突出贡献专家。1948年毕业于交通大学机械系，1952年毕业于哈尔滨工业大学研究生班。曾任机械工业部工具研究所副所长，全国机械制造专业教学指导委员会副主任兼切削组组长，全国高校切削与先进制造技术研究会理事长等。 我国著名的刀具专家，长期致力于金属切削、刀具、精密加工方面的教学和研究工作，在刀具和超精密加工领域具有很深厚的学术造诣。从教50多年来，承担并完成了大量的教学和科研工作，取得了丰硕的成果：正式出版教材、学术著作、手册等15部；发表学术论文600余篇；完成多项科研课题，其中获国家科技进步奖三等奖1项，省部级科技进步奖一等奖2项，省部级科技进步奖二等奖4项，省部级三等奖和其他科技奖项12项；培养博士生56人，硕士生50人，博士后5人。 杨立军，1972年生，辽宁建平人。哈尔滨工业大学机电工程学院教授，博士生导师。中国宇航学会光电技术委员会委员、中国微米纳米技术学会高级会员、中国微米纳米技术学会微纳机器人分会理事，国家重点研发计划项目负责人，教育部学位中心论文评阅人。主要从事微纳制造、激光制造、机械制造及光机电一体化装备的研究工作，先后主持承担国家重点研发计划、自然科学基金重点项目、863计划项目、国防基础科研项目、国家数控重大专项项目及一批省部级重点项目和国际合作项目，获省部级二等奖4项，发表SCI、EI检索的学术论文60余篇，出版专著和教材5部，获授权发明专利12项。袁哲俊 1926年生，江苏宝山（今属上海市）人。哈尔滨工业大学教授，机械制造学科首批博士生导师，哈尔滨工业大学机械制造学科的创始人之一，国务院学位委员会第二届学科评议组成员。曾被评选为哈尔滨市第一届人民代表大会代表；全国先进工作者，并出席全国先进工作者代表大会；航天部有突出贡献专家。1948年毕业于交通大学机械系，1952年毕业于哈尔滨工业大学研究生班。曾任机械工业部工具研究所副所长，全国机械制造专业教学指导委员会副主任兼切削组组长，全国高校切削与先进制造技术研究会理事长等。 我国著名的刀具专家，长期致力于金属切削、刀具、精密加工方面的教学和研究工作，在刀具和超精密加工领域具有很深厚的学术造诣。从教50多年来，承担并完成了大量的教学和科研工作，取得了丰硕的成果：正式出版教材、学术著作、手册等15部；发表学术论文600余篇；完成多项科研课题，其中获国家科技进步奖三等奖1项，省部级科技进步奖一等奖2项，省部级科技进步奖二等奖4项，省部级三等奖和其他科技奖项12项；培养博士生56人，硕士生50人，博士后5人。 杨立军，1972年生，辽宁建平人。哈尔滨工业大学机电工程学院教授，博士生导师。中国宇航学会光电技术委员会委员、中国微米纳米技术学会高级会员、中国微米纳米技术学会微纳机器人分会理事，国家重点研发计划项目负责人，教育部学位中心论文评阅人。主要从事微纳制造、激光制造、机械制造及光机电一体化装备的研究工作，先后主持承担国家重点研发计划、自然科学基金重点项目、863计划项目、国防基础科研项目、国家数控重大专项项目及一批省部级重点项目和国际合作项目，获省部级二等奖4项，发表SCI、EI检索的学术论文60余篇，出版专著和教材5部，获授权发明专利12项。
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目录
第 1章 纳米科学技术概述 1��1.1 纳米科学技术的特点 2��1.2 纳米科学技术的发展 2��1.3 发展纳米科学技术的理论基础 7��1.4 发展纳米科技的重要性和各国纳米科技的发展情况 12��复习思考题 26��参考文献 26��第 2章 探针式显微镜 28��2.1 探针式显微镜发明前微观表面形貌检测技术的发展 29��2.2 扫描隧道显微镜 37��2.3 原子力显微镜 57��2.4 其他扫描探针显微镜 82��2.5 光子扫描隧道显微镜和近场光学扫描显微镜 84��复习思考题 87��参考文献 87��第3章 纳米材料 90��3.1 纳米材料的发展与纳米材料定义 91��3.2 纳米颗粒(微粉)材料 93��3.3 纳米微粒材料(零维纳米材料)的制造技术 106��3.4 纳米薄膜材料 118��3.5 纳米块体材料 123��3.6 原子团簇 131��3.7 碳纳米管 137��3.8 纳米复合材料 161��复习思考题 167参考文献 167��第4章 纳米级精密测量技术 169��4.1 纳米级的尺寸精度和位移的测量方法 170��4.2 纳米级精度的多维尺寸测量 175��4.3 纳米级表面形貌和粗糙度的测量 177��4.4 超精密测量的环境条件 182��4.5 提高三维测量系统测量精度需注意的问题 186��复习思考题 190��参考文献 190��第5章 纳米级超精密加工和原子操纵技术 191��5.1 纳米级加工的物理实质和特点 192��5.2 超精密机械加工技术 194��5.3 纳米切削的分子动力学模拟 199��5.4 三束加工技术 203��5.5 原子与近原子尺度制造 212��5.6 碳纳米管互连技术 228��5.7 原子操纵技术的发展和操纵机理的探析 238��复习思考题 240��参考文献 241��第6章 纳米级表层物理力学性能检测和纳米摩擦学 244��6.1 纳米级表层物理力学性能的显微力学探针检测法 245��6.2 材料极薄表层物理力学性能的实际检测 251��6.3 纳米摩擦学的提出 259��6.4 纳米摩擦学研究使用的实验测试仪器 261��6.5 纳米级摩擦副材料和摩擦表面形态 267��6.6 边界润滑与分子膜 272��6.7 薄膜润滑 283��6.8 平滑界面的微摩擦形态 291��6.9 纳米摩擦学的分子动力学模拟 303��复习思考题 305��参考文献 305��第7章 纳米电子学 307��7.1 概述 308��7.2 从微电子技术到纳米电子技术的发展 309��7.3 量子电子器件的主要特征 316��7.4 量子电系统的基础元件 322��7.5 纳米级单电子晶体管 324��7.6 分子电子学和分子电子器件 330��7.7 原子电子器件 340��7.8 纳米电子器件的集成和量子计算机 344��7.9 三代电子器件的比较和纳米电子集成电路的探索 351��7.10 二维半导体材料纳米器件 354��复习思考题 365��参考文献 365��第8章 微机械和微机电系统 366��8.1 微机械和微机电系统的提出 367��8.2 微机械和微机电系统的理论基础 369��8.3 微机械常用的材料 377��8.4 微机械和微机电系统的技术基础 383��8.5 微传感器 393��8.6 微致动器 408��8.7 微型机器人 417��8.8 微型惯性仪表 424��8.9 微飞行器 438��8.10 微型卫星 454��复习思考题 463��参考文献 464��第9章 微机械和微机电系统的制造 466��9.1 微机械与微机电系统的制造技术简介 467��9.2 集成电路的制造过程简介 470��9.3 微机械器件的薄膜制造技术 474��9.4 光刻工艺中的曝光技术 478��9.5 光刻工艺中的刻蚀技术和立体光刻技术 490��9.6 LIGA技术 497��9.7 牺牲层工艺技术 508��9.8 微器件基板的键合技术 512��9.9 精密微机械加工和特种加工等在微机电系统制造中的应用 520��复习思考题 534��参考文献 535��附录 537��附录1 中国纳米科技至2050年的发展目标和可能取得的重要突破 537��附录2 中国至2050年纳米科技发展路线图 542��名词索引
封面
书名:纳米科学技术及应用
作者:袁哲俊，杨立军编著
页数:549页
定价:¥168.0
出版社:哈尔滨工业大学出版社
出版日期:2019-09-01
ISBN:9787560383606
PDF电子书大小:44MB 高清扫描完整版